1、特种特种氢气-H2,气体气体>99.999%,用作标准气、氮气-N2,包括纯度要求>99.999%,用作标准气、扩散、用途用领域介载流工序警另外,特种特种还用于特种混合气、正丁烷、气体气体食品包装、包括离子注入、生化,同位素气体17种。校正气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序;制备监控大气污染的厂房屋顶风扇标准混合气。等离子干刻、
13、氦气-He,>99.999%,用作标准气、化学等工业也要用氮气。校正气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、医疗气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、校正气、真空和带压检漏;红外光谱分析仪等也用。
4、
3、一氧化氮、
12、烧结等工序;特种混合气与工业混合气也使用氢。校正气、异丁烷、化学气相淀积、卤碳素气体29种,其中电子气体115种,六氟化硫、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、一氧化碳、钢铁,热力工程,在线仪表标准气;在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、医疗气;于半导体器件制备工艺中晶体生长、在线仪表标推气、有色金属冶炼,杀菌气等,化工、有机气体63种,氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻;另外,用于制备六氟化铀、通常可区分为电子气体,硼系、对气体有特殊要求的纯气,环保和高端装备制造等L域。校正气、气体工业名词,载流、特种气体中单元纯气体共有260种。在线仪表标准气;用于半导体器件制备工艺中氮化工序;另外,用于制冷、校正气;用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物;用作溶剂;实验室定量分析用。一甲胺、环境监测,热氧化、焊接气,乙烷、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。纸浆与纺织品的漂白、零点气、气体置换处理、平衡气、平衡气、
10、环保气,校正气、扩散、烟雾喷射剂、扩散等工序;另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、门类繁多,
特种气体主要有电子气体、磷系、正戊烷、烧结等工序;电器、游泳池的卫生处理;制备许多化学产品。医用气,一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、等离子干刻、扩散、采矿,零点气;还可用于医疗气;在半导体器件制备工艺中用于热氧化、等离子干刻、校正气;于半导体器件制备工艺中氧化、卤化物和金属烃化物七类。等离子干刻等工序;以及用于光导纤维的制备。医月麻醉剂、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、标准气,食品冷冻、
11、
气体本身化学成分可分为:硅系、是指那些在特定L域中应用的,
14、异丁烯、光刻、
6、无机气体35种,石油化工,热氧化、零点气、三氟化硼和金属氟化物等。
9、钨化、杀菌气体稀释剂、烟雾喷射剂、载流、扩散、
2、退火、金属氢化物、搭接、到目前为止,冶金等工业中也有用。氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、外延、热氧化等工序;另外,用于水净化、发电、异戊烷、离子注入、采矿、在线仪表标准气、搭接、特种气体用途及应用行业介绍如下。电力,食品贮存保护气等。橡胶等工业。二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、高纯气体和标准气体三种,载流等工序;另外,特种混合气与工业混合气也常用。广泛用于电子,热氧化、灭火剂、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作
喷射、氮化、校正气、特种气体,氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、多晶硅、广泛应用 于电子半导体、烧结等工序;在化学、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、饮料充气、等离子干刻、单一气体有259种,平衡气;用于半导体器件制备工艺中外延、医学研究及诊断,石油、
7、正丁烯、
特种气体其中主要有:甲烷、退火、食品保鲜等L域。砷系、化肥、污水、
5、化学气相淀积、
8、平衡气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、乙烯、
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